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질소 첨가리스·오존 발생 유닛 및 오존 가스 공급 시스템(NITROGEN-FREE OZONE GENERATION UNIT AND OZONE GAS SUPPLY SYSTEM)

 질소 첨가리스·오존 발생 유닛 및 오존 가스 공급 시스템(NITROGEN-FREE OZONE GENERATION UNIT AND OZONE GAS SUPPLY SYSTEM)

(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2015년05월21일 (11) 등록번호 10-1522483 (24) 등록일자 2015년05월15일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)

C01B 13/11 (2006.01) B01J 19/24 (2006.01) (21) 출원번호 10-2013-7024284 (22) 출원일자(국제) 2011년04월13일 심사청구일자 2013년09월13일 (85) 번역문제출일자 2013년09월13일 (65) 공개번호 10-2013-0129284 (43) 공개일자 2013년11월27일 (86) 국제출원번호 PCT/JP2011/059164 (87) 국제공개번호 WO 2012/140747 국제공개일자 2012년10월18일 (56) 선행기술조사문헌 US.....