반도체용 황산구리 전자 소자의 구리 금속 배선은 전해 도금을 포함한 다마신 공정을 통해 형성한다. 본 총설에서는 배선 형성을 위한 구리 전해 도금 및 수퍼필링 매커니즘 전해 도금은 외부에서 공급한 전자를.....
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