원자현미경 회사 파크시스템스와 파크시스템스 박상일 대표에 대해 알아보겠습니다. 파크시스템스 파크시스템스는 과거에는 연구용으로 광범위하게 사용되었지만 점차 산업용으로 적용범위를 넓히면서 반도체 미세공정 등에 채택되고 있는 원자현미경(AFM ; Atomic Force Microscopy)을 제조하는 회사입니다.
원자현미경은 뾰족한 탐침을 시료 표면에 나노미터 단위로 접근시켜 원자간의 미세한 척력이나 혹은 탐침의 고유 진동수 변화 등을 통해 표면의 모양을 영상으로 보여주는 장비입니다. 이를 통해 측정 가능한 정밀도는 0.01 나노미터, 즉 수소 원자 한 개의 10분의 1 수준까지도 오차를 제어할 수 있으며 상업적으로는 정밀한 초미세공정 제어와 나노미터 단위의 결함 검출을 필요로 하는 반도체 공정에서 사용되고 .....
