FST 이번에 소개할 기업은 반도체 EUV 공정 부품인 펠리클을 제작하는 에프에스티(FST)입니다. 펠리클은 반도체 노광 장비의 중요 부품으로, 포토 마스크를 보호하며, 높은 온도와 화학적 반응성이 요구되는 환경에서도 견딜 수 있는 내구성을 갖추어야 합니다.
이 얇은 보호 막은 공정 중 오염 요소가 포토 마스크에 닿는 것을 방지하여 불량률을 감소시키고 마스크의 수명을 연장하는 역할을 합니다. FST는 이 분야에서 국내 점유율 80% 이상을 차지하며, 칠러, 스크러버와 같은 다른 서브 공정 장비도 제조하고 있습니다.
기업 정보 및 장비 설명 펠리클은 노광 공정 중 포토마스크를 보호하는 역할을 하는데, 포토마스크 위에 세겨진 패턴을 웨이퍼 표면에 정확히 전달하는 중요한 역할을 합니다. 공정에서 높은 온도에 .....
