일상 STI(Shallow Trench Isolation) RTA(Rapid Thermal Anneal) 머니포랩 2018. 1. 14. 19:38 이웃추가 본문 기타 기능 STI(Shallow Trench Isolation) 여러 개의 FET이 있을 때 사이사이에 Insulator를 삽입해 간섭을 일으키지 않게 Isolation 하는 공정 Trench가 일종의 구덩이라 생각하면 됨. 얕은 구덩이를 만들어 Isolation 시킨다고 생각.
출처 : https://www.quora.com/How-is-transistor-insulation-in-a-CPU-created-how-are-transistors-inside-of-a-CPU-insulated-from-each-other RTA(Rapid Thermal Anneal) 1. Ion implantation을 하고 Crystal Defect를 회복시키기 위해 사용하기도 함.
Ion Implantation은 큰 에너지로 ion을 쏘는 ...
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