1. 제논과 크립톤은 우크라이나에서 생산됨.
우크라이나-러시아 전쟁으로 해당 가스들의 가격이 10배 이상 뜀. 2. 아르곤은 현재 낸드 식각가스로도 일부 쓰이고 있으며, TEL의 극저온식각 장비가 주로 쓰이는 낸드 10세대부터로 보는 듯. 3.
모멘텀 가스로의 물성만 본다면 제논과 크립톤이 아르곤 가스보다 우수함. https://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=25905 낸드 식각가스 대격변…제논·크립톤 줄이고 '아르곤' 쓴다 - 전자부품 전문 미디어 디일렉 삼성전자와 SK하이닉스 등 주요 반도체 기업이 차세대 낸드플래시 모멘텀 가스로 아르곤을 사용하는 방안을 추진 중인 것으로 확인됐다.
기존 모멘텀 가스로는 제논, 크립톤 등 희귀 가스가 사용됐다. 양사가 아... www.thelec.kr...
