워트는, THC - 제어범위 T : 21~25, H 42~48% / 제어도 SV±0.05, SV ±0.5% / 에너지 절감기술 사용, 초정밀 온습도 및 항온수 공급, 최적화 설계 / 반도체 PHOTO TRACK 설비, 반도체, 디스플레이 등 TCU - 제어범위 T : 21~25 / 제어도 SV±0.1 / Ink-jet 설비용 고압의 항온에어 공급, 초정밀 온습도 및 향온수 공급, 최적화 설계 / 반도체, 디스플레이 등 STOCKER FFU - 제어범위 T : 21~25 / 제어도 SV±0.05 / FILTER ULPA(PTFE) / 초정밀 온도제어, HEATLESS TEMPERATURE CONTROL, ULPA(PTFE) FILTER / 반도체 라인 RETICLE, POD STOCKER 온도제어 CLEAN MODULE - 전원 DC48 / 고흡입력, BLDC 진공모터 적용, ULPA FILTER 적용 / 반도체, 디스플레이, 2차 전지 라인 청소용 모듈 FFU - 규격 Variabl...
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