정전기 오염방지에 관한 기술지침 1. 목적 이 지침은 산업안전보건기준에 관한 규칙 제325조(정전기로 인한 화재·폭발 등 방지)에 따라 폭발위험장소에서의 정전기 오염(Contamination)으로 인한 ESD(Electrostatic Discharge) 방지와 오염 대책,관리에 대한 기술적 사항을 정함을 목적으로 한다. 2.
적용범위 (1) 본 기술지침은 산업안전보건기준에 관한 규칙 제230조(폭발위험이 있는 장소 의 설정 및 관리) 및 산업안전보건법 제36조(위험성평가)를 실시함에 따라 정전기에 의한 오염원으로부터 발생하는 화재·폭발을 예방하기 위한 위험성 평가 및 그 대책에 적용한다. (2) 본 기술지침은 반도체산업 등과 같이 고청정도를 유지하기 위한 작업공간에서의 정전기에 의한 오염을 관리하는데 적용할 수 있다. 3. 용어의 정의 (1) 이 지침에서 사용하는 용어의 정의는 다음과 같다.
(가) “오염(Containment)”이라 함은 높은 전위에 대전되고 있는 물체의 주변에 강...
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ESD
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