웨이퍼는 반도체 집적회로를 만드는 핵심재료이며 모래에서 추출한 실리콘을 이용하여 만듦 실리콘을 많이 쓰는 이유는 구하기 쉽고, 산화막 생성이 쉽다는 장점이 있음. 학습목표 실리콘 단결정 성장 방법을 설명할 수 있다.
실리콘 결정 방향에 따른 특성을 설명할 수 있다. 학습내용 기판용 실리콘 웨이퍼 제조 실리콘 결정 방향에 따른 특성 1.기판용 실리콘 웨이퍼 제조 연마 웨이퍼 : 실리콘 잉곳 700μm 두께로 얇게 썰고, 웨이퍼 양면 연마 에피택시 웨이퍼 : 단결정으로 이루어진 웨이퍼 상에 얇은 박막결정을 성장시킨 웨이퍼, 기판은 그 위에 새로운 결정을 성장시키는 씨드 결정,동종결합 에피택시, 이종결합 에피택시 SOI Silicon On Insulator 웨이퍼 : 반도체 소자 간 전기적 격리강화 목적으로 두 장의 실리콘 웨이퍼들 사이에 유전체층 삽입 2.실리콘 결정 방향에 따른 특성 웨이퍼는 결정 방향에 따라 기계적으로 쪼개짐의 강도, 산화물 성장 속도가 다름 성장속도 : {111} ...
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