*이미지 출처 : Google *제품 사진 업데이트 예정 Turbo Pump Maker : ADIXEN Model : ATH-500M Condition : A급 Quantity : 문의 Unit Price : 문의 아딕센 터보펌프 ATH-500M 정보 응용 분야: 반도체 응용 분야: 플라즈마 에칭, 이온 주입, 스퍼터링, 플라즈마 증착 기타 응용 분야: 연구 개발, 고에너지 물리학, 우주 시뮬레이션, 가속기 기타 산업: 유리 코팅, 평판 디스플레이, LED, 증착 코팅, 하드 디스크 제조 장점: 높은 처리량 - 조용하고 깨끗한 진공 - 부식 방지 - 높은 MTBF - 최소 크기, 부피 및 무게 - 스마트하고 컴팩트한 전자 컨트롤러 - 신뢰성 - 유지보수 불필요 - 배터리 불필요 - 간편한 통합 5개의 활성 축 5개 방향의 로터 위치 제어 불균형 하중 제거 제어 최소 소음 및 진동 수준 로터 불균형 보상 유지보수 불필요 불활성 가스 퍼지 모터 및 자기 베어링 코일의 부식 방지 배터리 ...
