안녕하세요. 오늘 소개해 드릴 주식은 파크시스템스입니다.
원자현미경(AFM) 시장에서 글로벌 1위 기업으로 23년 기준 20.61%의 시장 점유율을 기록하고 있습니다. 원자현미경은 나노 수준의 초고해상도 이미징을 가능하게 하는 강력한 현미경 기술입니다.
매우 작은 물체나 표면의 특성을 관찰하고 측정하는 데 사용됩니다. 특히 반도체 공정에서 AFM은 많이 사용이 되는데 그 쓰임을 한 번 알아볼까요?
웨이퍼 표면 검사 : 미세한 굴곡, 결함, 오염 입자를 나노미터 수준에서 감지 박막 두께 측정 : 초박막의 정확한 두께를 측정 패턴 품질 검사 : 패턴의 형상, 높이, 폭을 정밀하게 측정 표면 거칠기 분석 : 미세한 거칠기를 측정하여 CMP 공정의 효과를 평가하고 최적화 결함 분석 : 각 층의 두께와 균일성, 결함 여부 분석 응력 측정 : 나노 스케일에서 응력의 분포를 측정하여 패키징 공정 최적화 정말 많은 쓰임이 있죠? 점점 세밀화되는 반도체 공정에서 나노 수준의 정밀한 측정과 분석을 수...
