안녕하세요. 이맥테크 기술팀입니다.
오늘은 다쏘시스템사의 SIMULIA의 CST Studio Suite을 이용한 Matching Network 해석에 대해 살펴보려고 합니다. 포스팅을 보시고 조금 더 자세히 알아보고 싶으시거나 추가로 궁금한 점이 있으시면 언제든지 문의 주세요 :) [email protected] CST Studio Suite을 이용한 Matching Network 해석 이맥테크 이보람 Matching Network는 RF Generator에서 공급하는 RF 전원을 Chamber로 공급하는 장치로 Chamber의 전기적 Impedance를 RF Generator의 출력 임피던스와 같아지도록 실시간으로 Matching하여 최대 효율로 전력을 공급할 수 있도록 도움을 줍니다.
이러한 Matching Network는 Circuit 해석 및 Circuit + 3D EM 해석을 CST Studio Suite으로 진행함으로서 실제 구동환경에서의 Full 3D적인 분석 ...
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