CMOS technology에서 resistor의 종류

파운드리 회사에서 제공하는 PDK(Process Design Kit)에서는 CMOS, BJT 등 active device부터 Resistor, Capacitor 등 passive device 등 다양하고 많은 소자를 제공하고 있다. 그중에서 가장 많이 접해 익숙하지만 알고 있는 것과 다른 것이 바로 resistor이다.

전자과 출신 새내기 연구원이라면 resistor를 생각하면 바로 아래가 떠오를 것이다. 출처 : uk.rs-online.com/web/p/through-hole-resistors/0131772 근데 이 저항이 반도체 칩에서 사용할 리가 없다.

그렇다면 CMOS technology에서는 어떤 resistor를 제공할까? 반도체에선 Wafer에 여러 공정을 통해 아래 사진과 같은 다양한 저항이 만들어진다.

Poly-silicon resistor Diffusion resistor Well resistor Metal resistor 출처 : P.E. Allen의 lectur...