반도체 설계회사는 Tape out을 통해 설계 정보가 담긴 GDS 파일(oasis)을 Foundry의 Mask팀에게 전달합니다. Foundry의 Mask팀은 GDS의 Layout 정보를 Photomask로 제작하기 위하여, Mask 제작 장비가 사용할 수 있는 Data로 바꾸어 주는 작업을 합니다.
이 작업을 Pattern Generation Work라고 부릅니다. PG Work는 MDP, OPC, Frame, Fracturing, Jobdeck Generation 단계로 이루어져 있습니다.
이 글에서는 MDP에 대해서 알아볼 예정입니다. credit: https://semiengineering.com/inside-photomask-writing/ MDP란? Mask Data Preparation(MDP)은 VLSI(Very Large Scale Integration) 설계 데이터를 포토마스크(photomask) 제작에 필요한 형식으로 변환하는 단계입니다.
반도체 제조공정에서는 마스...
