반도체 ATE Testing이란? STIL, SPF, WGL

VLSI 테스팅에서 중추적인 역할을 하는 자동 테스트 장비(Automatic Test Equipment, ATE)에 대해 알아보려고 합니다. ATE 장비 설명에 앞서, Defect에 대해 먼저 이야기해보려고 합니다.

반도체 설계의 복잡도가 증가함에 따라 테스팅의 중요성도 날로 커지고 있습니다. Software는 고성능 Hardware를 원하고, 고성능 Hardware 성능을 보여주는 최신 반도체 공정은 아직 성숙되지 않아 수율이 낮습니다.

그러나 최신 Software는 자율주행, 의료, AI에 쓰이는 만큼.. 안전한 칩이 소비자에게 전달되어야 합니다.

반도체 제조 공정에서 발생할 수 있는 결함을 조기에 발견하고, 칩의 기능과 성능을 검증하는 것은 반도체 산업의 경쟁력을 좌우하는 핵심 요소입니다. 이 때 ATE는 VLSI 칩을 자동으로 테스트하고 분석하는 도구로 사용됩니다.

ATE는 테스트 패턴 생성, 결과 분석, 결함 진단 등 다양한 기능을 수행하여 엔지니어들이 효율적으로 칩을 테스...