초정밀 산업용 부품세척기 QUAVA MEGA SONIC Cleaning 소개 [KAIJO]의 QUAVA MEGA SONIC Cleaning은 반도체 장비 및 평면 패널 디스플레이, HDD의 미세 입자 제거에 적합한 초음파세척기로 750kHz와 950kHz의 주파수가 지원됩니다. 진동판은 스테인리스 스틸이나 석영, 탄탈륨으로 주문 제작이 가능하며, HI MEGA SONIC 101 시리지의 대체품으로 직접 설치 또한 가능합니다.
표준형 모델에는 반도체 세정 툴에 사용되는 원격 제어 기능이 포함되어 있습니다. 반도체 웨이퍼 및 HDD 부품 등 초정밀 세정에 최적인 부품세척기 QUAVA MEGA SONIC Cleaning은 세정 얼룩이 적으며, 극세 패턴에 손상 확률도 낮아서 반도체 웨이퍼 및 HDD 부품 등 초정밀 세정에 산업용 부품세척기로 많이 사용됩니다. 10⁵G 중력 가속도 및 화학적 작용으로 서브 미크론 크기의 파티클을 확실하게 제거합니다.
세정물 및 장치에 맞춘 각종 형상의 진동...