초정밀 경면 연마 규격에 맞게 간단하게 클리어! 초정밀 경면 규격에 이르도록 대응한 몇 종류의 대책이 실패했지만, 파인 버블을 사용해 간단히 해결함.
연삭액 배관 도중에 OK 노즐을 설치해 대응했다. 고객의 감사의 말 → 「합격품을 공급할 수 있게 되어 매우 기쁘다.」
파인 버블의 파열의 충격에 의해 숫돌 칼날이 항상 확보되고, 연삭끝이 세정되어 요청되는 면 조도을 얻었다....
실리콘 웨이퍼의 초정밀 경면 연마 가공에 대한 요약내용입니다.
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