반도체 / FPD / HDD 용 초음파 세정기의 특징 반도체 웨이퍼, LCD 패널, HDD 부품 등의 세정에는 데미지(손상) 문제가 대두됩니다. 손상의 주요 원인은 캐비테이션이므로, 정밀 세정이 요청되는 분야에는 낮은 캐비테이션 발생을 갖는 "중간 주파수"대역 (78k ~ 430kHz) 및 "메가소닉"대역 (500k ~ 5MHz)의 고주파 초음파 세정기가 사용됩니다.
특히 "쿼바 시리즈 (Quava Series)"는 정밀한 출력 제어가 가능 하여, 섬세한 웨이퍼의 세정을 잘 처리할 수 있습니다. 또한 믹스앤매치 방식을 채택했기 때문에 발진기를 교체하더라도 매칭 조정이 필요하지 않습니다. https://blog.naver.com/gaonststat/222500512891 US Shower AD 하나의 발진기로 최대 3m의 폭을 커버할 수 있는 대형 FPD 기판과 호환되는 모델입니다.
높은 세정성과 순수한 물 소비 감소를 모두 달성합니다. 동영상 https://blog.naver.co...
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FlatPanelDisplay
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초음파전문성
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초음파세정기
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실리콘웨이퍼세정
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손상저감
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미드소닉
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메가소닉
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데미지저감
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고주파
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가온에스티GAONST
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WAFERCLEANING
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ULTRASONIC
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LCD
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HDD
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HardDiskDrive
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FPD
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카이죠KAIJO
원문 링크 : 초음파 세정기_반도체 사용례 1_반도체, FPD, HDD
