초음파세척기 적용 사례 : 반도체/FPD/HDD

초음파세척기 적용 사례 및 활용사례 반도체/FPD/HDD용 초음파 세척기의 특징 반도체 웨이퍼, LCD 패널 및 HDD 구성 요소를 세척하는 것은 손상 발생으로 인해 문제가 됩니다. 손상의 주요 원인은 캐비테이션으로 인한 것으로 생각됩니다.

이 때문에 고정밀 세척이 필요한 분에는 「 중간 주파수 」 대역 (78kHz ~ 430kHz)과 「 메가소닉 」 대역 (500kHz ~ 5MHz)의 고주파 초음파세척기가 사용됩니다. 특히 "Quava 시리즈" 는 정밀한 출력 제어가 가능 하며 섬세한 웨이퍼 클리닝을 처리할 수 있습니다.

또, mix-and-math 방식을 채용하고 있으므로 진동자를 교환한 경우에도 매칭 조정의 필요가 없습니다. 쿼바US샤워AD 최대 3m 폭을 1개의 진동자로 커버할 수 있는 대형 FPD 기판 대응 모델.

높은 세정성과 순수 사용량의 감소를 모두 달성할 수 있습니다. 쿼바 메가소닉 세척 서브미크론 등급 미립자 제거.

쿼바 스팟 샤워 단일 웨이퍼 세척을 위한 ...