CMP Pad 에 대해 ~ cmp 패드

CMP패드 (CMP PAD)에 대해 ~ CMP PAD 제품 및 솔루션 제공 제품모델명 경도 (Shore D) 밀도 (g/cm³) 공정노드 (nm) 공정적용 WH2000 50.0 - 70.0 0.80 - 0.90 N/A Si, Reclaim WH2806 59.0 - 69.0 0.90 - 1.03 N/A SiC, GaN WH6000 56.6 - 65.0 0.78 - 0.84 250-28 OX, W, Cu, Ceria WH6060 52.0 - 62.0 0.68 - 0.74 250-28 OX, W, Cu, Ceria WH7000 44.7 - 61.5 0.80 - 0.90 ≤28 OX, Ceria WH7100 52.0 - 62.0 0.77 - 0.84 ≤28 OX, Ceria WH7350 55.0 - 73.0 0.90 - 1.10 ≤28 Ceria, Nano Ceria WH8000 56.0 - 70.0 0.93 - 1.05 ≤28 Cu Bulk WH8050 59.0 - 69.0 0.90 - ...