반도체 웨이퍼 및 각종 정밀 소재를 위한 고정밀 메가소닉 세정 솔루션 (Quava Mega Wedge 쿼바 메가 웨지) Kaijo의 액체 접촉 방식 (Liquid-Contact Method) 은 초음파 에너지가 인가된 얇은 액막 (Ultrasonic-energized film)을 형성하여 미세 입자를 손상 없이 효율적으로 제거합니다. ️ 초음파 사양 ️ 동작 주파수 : 950kHz / 3MHz ️ 출력 : 150W / 75W ️ 발진 모드 : PLL모드 및 A모드 ️ 최대 사용 온도 : 40C ️ 운영 시스템 ️ 0.1W 단위의 정밀 출력 조절 가능 ️ 자동 주파수 추적 PLL 시스템 적용 ️ 실시간 유효 출력 및 에러 상태 표시 ️ Remote Terminal, RS-485, DeviceNet 통신 지원 ️ QUAVA Mega Wedge 주요 특징 ️ 단일 웨이퍼 세정, 레지스트 제거 (Resist Stripping), 에칭 후 잔여물 제거에 최적화된 트랜스듀서 ️ 균일한 초음파 ...
