반도체 웨이퍼 및 HDD 정밀 세정을 위한 솔루션 반도체 세정장비 메가소닉 스팟 샤워 Quava Spot Shower Quava Spot Shower는 여러 주파수의 초음파 에너지가 인가된 DI워터를 분사하여 민감한 표면에서도 손상 없이 정밀한 세정을 제공합니다. 200kHz ·20W 950kHz · 30W 430kHz · 20W 3MHz · 30W 430kHz · 50W 2MHz · 30W ️ 초음파 사양 ️ 최대 초음파 출력 : 50W ️ 주파수 200kHz / 430kHz / 950kHz / 2MHz / 3MHz ️ 발진 모드 : PLL 모드 / A 모드 ️ 최대 사용 온도 : 40C ️ 운영 시스템 ️ 0.1W 단위 출력 조절 가능 ️ 자동 주파수 추적 PLL 시스템 ️ 실시간 유효 출력 및 에러 상태 표시 ️ Quava Spot Shower 주요 특징 ️ 다양한 적용 분야에 맞춘 주파수 및 발진 모드 선택 가능 ️ HDD 미디어, FPD 유리, 반도체 웨이퍼에 대한 초미세 ...
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