수직형 평면 연삭기 (그라인딩-Grinding)

수직형 평면 연삭기 (SGM-8000) "단단한" "취성" 소재 기판을 더 '박막'으로, 변질층 손상은 더 적게 연마 가공 영역의 극박 가공을 실현 수직형 평면 연삭기 SGM-8000은 사파이어 · SiC · GaN 등과 같은 난삭(難削) 취성 소재를 짧은 시간 안에 고정도로 연삭하기 위해 개발된 장비입니다. 연삭석 스핀들과 워크 스핀들이 수직으로 배열되어 각각 회전하며, 연삭석 스핀들이 워크 방향으로 이송되면서 연삭이 진행됩니다.

특히, 연삭석 스핀들이 전후 방향으로 진동 (새로운 특허 구조) 하기 때문에, 취성 소재 기판을 더 얇게, 더 적은 손상으로 연삭할 수 있습니다. 또한 최대 가공 직경은 Ø300mm로, 배치 (batch) 처리가 가능해 높은 생산성을 제공합니다.

연삭기 특장점 1. 진동 (슬라이딩) 기구 경도가 높은 연삭석이 일정한 하중을 유지하면서 연삭합니다.

이때 연삭 저항이 수평 방향으로 분산되어 가공 변형이 적고, 손상 발행이 적은 연삭이 가능합니다. 웨이퍼를 ...