패널형 시편 연마 장치 (랩핑 폴리싱머신) MA-600e SP ️ 특징 ️ MA-600e SP는 대구경 시편 연마에 최적화된 정밀 연마 장치입니다. ️ 최대 Ø600mm 크기의 시편을 주축 테이블에 고정하고, 래핑(lapping), 폴리싱(polishing), CMP를 수행하는 상면 연마 방식 시스템을 채택. ️
연마판에는 요동 장치가 장착되어 있어, 시편 전체를 균일하게 연마할 수 있습니다. ️ 또한, 가압축의 요동 범위는 -275mm ~ +275mm (주측 테이블 중앙을 원점 0으로 기준)이며, 다양한 종류의 연마판을 가압축 헤드에 장착함으로써 가공 영역 조정도 가능합니다. ️
시퀀스 제어 터치 패널 조작 장치의 모든 조작은 터치 패널을 통해 이루어집니다. 가압축의 회전수, 요동 속도, 가속 거리 등을 설정할 수 있습니다. ️
제품 사양 항목 사양 장치 외형 치수 W1309mm x D860mm x H1743mm 워크 크기 최대 Ø600mm 워크 고정 방식 주축 스테이지의 진공 척...
