️ 에드워드(EDWARDS) EZM18 로터리 펌프 수리

️ 에드워드(EDWARDS) EZM18 로터리 펌프 정기 수리 안녕하세요, 그린뉴메틱입니다. 오늘은 반도체/디스플레이 공정에서 널리 사용되는 EDWARDS(에드워드)사의 E2M18 모델 로터리 진공 펌프에 대한 수리 및 오버홀 사례를 공유 드리고자 합니다.

펌프의 성능 유지와 장비 안정화를 위해 주기적인 점검과 수리는 필수입니다. 1. 펌프 입고 및 초기 점검 (Fail 원인 분석) • 모델명: EDWARDS E2M18 • 서비스 타입: 정기 수리 (Routine Maintenance) • 발생 특이사항: 오일 오염 고객사에서 정기 수리를 위해 입고된 E2M18 펌프의 초기 점검 결과, 내부 오일 오염이 확인되었습니다.

오염된 오일은 펌프 내부 부품의 마모를 가속화하고 진공 성능 저하의 주된 원인이 됩니다. 2. 분해 검사 결과 및 수리 내용 입고된 펌프는 즉시 숙련된 엔지니어에 의해 안전하게 분해되었습니다.

분해 과정에서 촬영된 사진과 확인된 주요 문제점은 다음과 같습니다. ...