Cycle Purge란?

Cycle Purge란? 목적과 적용 산업, 방법까지 완벽 정리!

Cycle Purge(사이클 퍼지)는 반도체, 화학 공정, 진공 시스템, 냉동 시스템 등에서 사용되는 중요한 과정입니다. 이는 장비 내부의 불순물을 제거하고 원하는 환경을 조성하기 위해 수행되며, 품질 향상과 안전성 확보에 필수적입니다.

이번 글에서는 Cycle Purge의 주된 이유, 목적, 적용 산업, 방법 등을 자세히 살펴보겠습니다. 1. Cycle Purge란?

Cycle Purge는 시스템 내부의 불순물을 제거하거나 특정 가스를 원하는 가스로 교체하기 위해 반복적으로 퍼지(Purge) 과정을 수행하는 방법입니다. 보통 불활성 가스(N₂, Ar 등) 를 사용하여 잔류 가스를 희석하거나 배출하는 방식으로 진행됩니다.

Cycle Purge가 필요한 이유 • 공정 품질 유지: 잔류 가스나 오염 물질이 제품에 영향을 미칠 수 있음 • 안전성 확보: 가연성 또는 유해 가스를 제거하여 폭발·화재 위험 방지 • 장비 보호:...