기판 외관 검사 장치 및 기판 전기 검사의 한계 AOI(외관 검사 장치)는 회로상의 결함은 검출할 수 있지만, 전기적 도통 보증과 스루 홀 내부의 검사는 불가능합니다. 또한 완전한 검사를 수행하려면 내부 레이어별 검사가 필요합니다.
플라잉 체커는 전기적으로 네트워크의 커패시터나 저항값을 검사하지만, 설정된 임계값 범위 내에서 놓치는 불량이 존재합니다. 프로세스 아날라이저 Pro UA1801은 AI 기반 ‘비지도 학습’ 기능을 통해 플라잉 체커 검사 데이터의 임계값 범위 내에서 '특이점'을 식별하여 잠재적 불량을 검출합니다.
검출 사례 1 스루 홀의 이상 특이점으로 검출된 기판과 검출되지 않은 기판의 스루 홀을 X선 분석한 결과, 두께와 부피의 차이가 확인되었습니다. 검출 사례 2 내부층 패턴의 테이퍼링 내부 패턴의 X선 이미지를 분석한 결과, 이상이 발견된 한 기판과 이상이 발견되지 않은 다른 기판에서 패턴 테이퍼링 현상이 관찰되었습니다.
모방 결함의 탐지 인공지능 기반 학습 및 저...
