로딩
요청 처리 중입니다...

플라즈마 관련 특허및 중요 논문 의 분석 통한 플라즈마기술 방향

 플라즈마 관련 특허및  중요 논문 의 분석 통한 플라즈마기술 방향

1. 의료 및 건강 관리: - "저온 대기 플라즈마(CAP)는 상처 치유 메커니즘의 주요 분자의 유전자 발현을 변화시키고 시험관 및 생체 내 상처 치유를 개선합니다."

(플로스 원, 2013) - "플라즈마 의학: 피부과에서 저온 대기압 플라즈마의 응용"(Oxford Academic, 2016) - "플라즈마 살균: 기회와 미생물학적 측면"(MDPI, 2020) 2. 전자 및 반도체: - "실리콘 및 이산화 규소의 플라즈마 에칭의 물리적 메커니즘."

(J. Vac.

Sci. Technol.

B, 1984) - "플라즈마 에칭: 어제, 오늘, 그리고 내일." (J.

Vac. Sci.

Technol. A, 2013) - "원자층 에칭: 에칭 기술의 재조명" (J.

Phys. Chem.

Lett., 2015) 3. 환경 응용: - "배기가스에서 질소산화물 제거를 위한 비열 플라즈마 기술 사용."

(미국 특허 6020025, 2000) - "연도 가스에서 SO2 및 NOx를 줄이기 위한 비...

# 플라즈마처리장치 # 플라즈마표면처리