접합,본딩,합지 등 공정에서 플라즈마 기술 효과

안녕하세요. 접합, 본딩, 합지 공정에서 플라즈마 기술을 적용한 대표적인 산업 분야로는 반도체, 디스플레이, 자동차, 항공우주, 의료 등이 있습니다.

플라즈마 기술은 기체를 이온화하여 플라즈마 상태로 만든 후, 이 플라즈마의 화학적, 물리적 성질을 이용해 열처리, 식각, 증착 등의 공정을 수행합니다. 플라즈마 장치는 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 소스와 이를 이용하는 플라즈마 리액터로 구성됩니다.

대표적인 플라즈마 발생 방식으로는 직류, 고주파, 마이크로파 등을 이용하는 방식이 있습니다. 플라즈마 소스 내부에는 양극과 음극이 있고, 이 사이에 가스가 흐르도록 구성합니다.

그리고 전극에 고전압을 인가하면 가스 내의 전자가 가속되어 충돌 이온화가 일어나 플라즈마를 발생시킵니다. 플라즈마 리액터 내부에는 전극, 가스 공급 장치, 진공 펌프 등이 구비되어 있습니다.

원하는 공정 조건에 맞게 가스 종류, 유량, 압력, 온도 등을 조절하여 플라즈마를 이용한 공정을 수행할 수 있습니다. 이와 같...