글라스( AF코팅)플라즈마 표면처리 기술

플라즈마 세정(plasma cleaning)은 플라즈마를 이용한 세정 기술로, 반도체나 디스플레이 제조 공정에서 주로 사용됩니다. 플라즈마 세정의 주요 장점은 다음과 같습니다. - 유기물 및 불순물을 깨끗하고 효과적으로 제거할 수 있음 - 젖은 세정이 불가능한 구조에서도 사용 가능 - 환경 오염이 적고 세정 효율이 뛰어남 - 열에 민감한 표면에도 사용 가능 대표적인 플라즈마 세정 기술로는 Atmospheric Pressure Plasma Cleaning, Low Pressure Plasma Cleaning 등이 있습니다.

Atmospheric Pressure Plasma는 대기압 환경에서, Low Pressure Plasma는 진공상태에서 플라즈마를 발생시켜 세정하는 기술입니다. 세정 가스로는 보통 산소, 아르곤, 수소, 질소 등을 혼합하여 사용합니다.

플라즈마 조건과 가스의 종류에 따라 세정 특성과 효과가 달라지므로, 세정 대상에 맞추어 최적의 조건을 선택하는 것이 중요합니다. A...