플라즈마세척기 자료

플라즈마 세정(Plasma cleaning)은 기체 종에서 생성된 에너지 플라즈마 또는 유전 장벽 방출(DBD) 플라즈마를 사용하여 표면에서 불순물과 오염물을 제거하는 것이다. 아르곤과 산소와 같은 기체뿐만 아니라 공기, 수소/질소 등의 혼합체가 사용된다.

플라즈마는 현재 대기압 플라즈마도 흔하지만, 고압 가스(일반적으로 kHz ~ >MHz)를 사용하여 저압 가스(일반적으로 약 1/1000 기압)를 이온화함으로써 생성된다.플라즈마에서 가스 원자는 더 높은 에너지 상태로 들뜨고 이온화된다. 원자와 분자는 정상적이고 낮은 에너지 상태로 '여유'하면서 빛의 광자를 방출하는데, 이는 플라즈마와 관련된 특징적인 "광" 또는 빛..........