플라즈마는 또한 전도성 필름 사이의 절연과 완성 된 회로의 캡슐화에 사용되는 이산화 규소 및 질화규소와 같은 유전체 재료의 얇은 층을 증착하는 데 필수적이며 습기와 오염으로부터 보호합니다. 이러한 필름은 섬세한 회로 구조가 파괴되지 않도록 충분히 낮은 온도에서 증착되어야합니다.
플라즈마는 또한 반도체의 저온 세정 및 칩 패키징 및 회로 기판 제조와 같은 기타 전자 응용 분야에서 점점 더 많이 사용되고 있습니다.전자 산업에서 플라즈마의 주요 용도는 반도체 칩 제조입니다. 오늘날 일반적인 반도체 칩 공장에서 장비의 최대 30 %가 플라즈마 기반입니다.기술이 점진적으로 발전함에 따라 장치 크기는 시간이 지남에 따라 지..........
반도체 공정 플라즈마 장치개발에 대한 요약내용입니다.
자세한 내용은 아래에 원문링크를 확인해주시기 바랍니다.
