산소 플라즈마

플라즈마 세정 은 기체 종에서 생성 된 에너지 플라즈마 또는 유전체 장벽 방전 (DBD) 플라즈마를 사용하여 표면에서 불순물과 오염 물질을 제거하는 것입니다 . 아르곤 및 산소 와 같은 가스와 공기 및 수소 / 질소와 같은 혼합물이 사용됩니다.

플라즈마는 저압 가스 (일반적으로 약 1/1000 대기압)를 이온화하기 위해 고주파 전압 (일반적으로 kHz ~> MHz)을 사용하여 생성되어집니다 플라즈마에서 가스 원자는 더 높은 에너지 상태로 여기되고 이온화됩니다. 원자와 분자가 정상적인 낮은 에너지 상태로 '완화'되어 광자 광자를 방출하므로 플라즈마와 관련된 특징적인 "광"또는 빛이 발생합니다.

가스에 따라 색상이 다릅니다. 예를 들어 산소 플라즈마는 밝은 파란색을냅니다.

플라즈마의 활성화 된 종은 원자 , 분자 , 이온 , 전자 , 자유 라디칼 , 준 안정 물질 및 단파 자외선 (진공 UV 또는 짧은 VUV) 범위의 광자 를 포함합니다. 이 혼합물은 플라즈마에 배치 된 모든 표면과 상...