플라즈마세정(플라즈마기술이용한 표면크리닝 장치)

고체 표면의 플라즈마 크리닝는 중요한 산어의과제 중 하나입니다. 매우 빠르게 발전하고 있는 플라즈마를 이용한 분야의 주제들중 강판 금속 재료 표면처리 ,플라즈마 세척이 개발 완료되었습니다.

다음과 같은 여러 산업에 이미 구현되어 있습니다.반도체 가공 및 마이크로칩 제작, 야금, 광학 산업, 치과, 의학 기술, 식품 포장 – 가장 많은 제품만을 언급하는 것들의 중요한 영역입니다. 플라즈마 의 기본 이해는 크리닝 효율성에 매우 중요하다.플라즈마 세척 기술의 효과적인 활용새 필드에 적용할 수 있습니다.

플라즈마 표면 크리닝 은 금속 표면에서 오염물질 제거 ,표면 레이어의 두께는 다음에 따라 다릅니다. 물체가 만들어지는 소재 및 (기술적) 객체의 히스토리.

표면이 복잡할 수 있습니다. 표면의 화학적, 물리적 구조.

예를 들어, 금속. 스트립, 유리 한 장과 Si 웨이퍼는 층을 포함할 수 있다.화학적, 물리적으로 흡착된 물의 일부 금속 표면의 거칠기는수십, 수백 나노미터를 넘어섰다.표면층 구...