웨이퍼(반도체공정)플라즈마 표면처리

재료의 플라즈마 처리는 전자, 항공우주, 자동차, 철강, 생물의학 및 유독성 폐기물 관리와 같은 세계 최대의 여러 제조 산업에서 중요한 기술입니다. 이 책은 플라즈마 공정과 많은 산업적 응용 사이의 관계를 설명하고 전자 산업의 플라즈마 처리를 자세히 조사하며 이 기술의 기초가 되는 과학적 토대를 강조하고 있다 전자 산업은 세계 경제를 위한 현대적인 ''도구 제작자''이므로 대부분의 다른 산업에서 일자리를 창출하고 생산성을 향상시키는 데 도움이 됩니다.

자동차, 비행기, 전화기, 식기 세척기, 전자레인지 등 일부 제품에는 모두 전자 부품이 있습니다. 우리 국방의 정교함은 전자 부품에 의존하여 미사일 유도, 미사일 방어, 정확한 폭격 정확도, 거리 측정 등을 제공합니다.

실리콘은 광학 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)에 사용되는 가장 일반적인 재료 중 하나입니다. 광학 응용 분야에서 표면 품질은 소자의 성능에 중요한 역할을 하므로 표면 평활화와 같은 ...