플라즈마합지기(본딩기) 제작기술

플라즈마 활성화 결합 은 친수성 표면 과 의 직접 결합 을 위해 더 낮은 처리 온도 로 유도되는 파생물입니다. 직접 결합의 온도를 낮추기 위한 주요 요구 사항은 낮은 온도에서 용융되는 재료의 사용과 다양한 열팽창 계수(CTE)를 사용하는 것 입니다. [1] 접합 전 표면 활성화 는 중간 층이 필요하지 않고 400C 미만의 온도에서 어닐링 후에 충분히 높은 접합 에너지가 달성된다 대기압-플라즈마 활성 결합은 기판의 특정 국소 영역 또는 전체 표면에서 플라즈마를 점화할 가능성을 가능하게 합니다.

두 전극 사이에서 플라즈마 가스는 교류 전압을 통해 점화됩니다 PDMS로 만든 미세유체 장치는 일반적으로 사용하기 전에 유리 슬라이드에 결합해야 합니다. 결합 과정은 PDMS와 유리 사이에 단단한 밀봉을 만들어 유체와 세포가 채널에 국한된 상태로 유지되도록 합니다.

이 프로세스는 플라즈마 결합으로 알려진 기술에 의해 촉진됩니다. 본질적으로 두 결합 표면을 산소 플라즈마에 노출시키면 표면이 매우 ...