반도체 공정 12강(Photoresist)

앞서 배웠던 포토레지스트(Photoresist)는 빛과 반응하여 부식을 방지하는 역할을 맡고 있습니다. 포토레지스트를 조금 더 자세히 살펴보면, 내용물은 다음과 같습니다. 1.

Photoresist(PR) Semiconductor Manufacturing Technology by Michael Quirk and Julian Serda 2001 by Prentice Hall 먼저, Solvent는 PR에 점성과 유동성을 부여하는 역할을 합니다. 그렇기 때문에 PR을 도포할 때 Spin coating 공법을 사용할 수 있는 것입니다.

Resin은 폴리머 체인의 일종으로서 PR의 기본적인 Body를 부여하는 요소입니다. Sensitizer는 빛을 받았을 때 Resin 사이를 엮어주거나 풀어주는 역할을 합니다.

이후 Sensitizer가 빛을 받았을 때 엮어주는지, 풀어주는지에 따라 negative / pisitive PR로 구분하게 됩니다. Additive는 PR 제조기업 간의 차이를 만...

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