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미완의 기술 'EUV 펠리클'…한일전으로 압축

 미완의 기술 'EUV 펠리클'…한일전으로 압축

미쓰이화학 반도체 공정용 펠리클. <사진=미쓰이화학> ASML이 자체 개발하던 극자외선(EUV)......

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