현존하는 휴대용 XRF 중에 유일하게 F, Na 분석이 가능한 Tracer 5g 입니다. 에너지가 매우 약한 플루오린(F)이나, 소듐(Na)의 XRF 신호를 받으려면, 공기나 다른 요소 등 샘플과 디텍터 사이에서 플루오린(또는 소듐) 신호를 흡수하는 요소들은 제거 되어야 합니다.
Instrument nose는 공기(N2, O2, Ar)보다 훨씬 적게 플루오린 신호를 흡수하므로 헬륨으로 제거 되어야 합니다. Nose 제거와 더불어, 기기의 Protective window 또한 플루오린 신호에 방해되지 않는 경로를 제공하기 위해 제거 되어야 합니다.
반도체 부문에서 응용하기 플루오린은 가장 반응성이 좋은 화학원소이며 할로겐 그룹에서 가장 가벼운 원소 입니다. 플루오린 화합물은 화학 증기 증착, 플라즈마 세팅 및 청소 등 반도체 제조 공정에서 다양하게 쓰입니다.
플루오린 화합물을 사용하는 능력은 제조 공정에서 코팅이나 불순물을 감지가 가능한가에 따라 나뉩니다. 반도체 산업에 H...
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Fluorine
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HHXRF
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TRACER
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TRACER5g
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XRF
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Yttrium
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반도체
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이트륨
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플루오린
원문 링크 : 휴대용 성분분석기의 불소(Fluorine) 분석 기술
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