[TRACER 5g] 세계에서 하나뿐인 휴대용 불소 측정기

Application Note #2203 그림 1. TRACER 5g 반도체 산업은 2021년 크게 성장하며 세계적으로 중요한 입지를 확보했습니다.

이에 따라 반도체 제작 과정에서 발생하는 무기물, 유기물, 금속 등의 오염물, 잔류물은 공정 상 결함 유발 요소로 이를 관리하고자 하는 요청이 늘고 있다. TRACER5g는 잔류물인 불소(Fluorine: 이후 F)를 분석하는 용도로 활용 가능하며 무기물, 금속 등의 오염물 또한 확인이 가능합니다.

Easycal Software 구매시 검량선을 사용자의 시료에 맞춰서 제작이 가능하다. 따라서 세정 후 코팅된 Y2O3, YOF, YAG 등의 두께 측정이 가능하며 불소의 오염 정도 파악도 가능하다.

TRACER 5g는 F 부터 U까지 분석이 가능한 장비로 ppm 부터 wt.% 까지의 농도 확인이 가능합니다. 또 휴대용으로 현장에서 원하는 어떤 위치에서도 분석이 가능하기 때문에 실험실로 이동 없이 편리하게 분석이 가능합니다.

준비 사항 불소는...

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[TRACER 5g] 세계에서 하나뿐인 휴대용 불소 측정기

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