피에조 시스템(Piezo System)은 피에조와 정밀 센서가 결합되어 나노미터 급 분해능과 빠른 응답성을 가집니다. 이를 바탕으로 나노미터 급 정밀도가 요구되는 정밀 측정 시스템, 초고해상도 현미경, 반도체검사 장비 등에 적용가능합니다. * Resolution : Down to 2 nm * Linear Travel Range : Up to 100 μm * Repeatability : Down to 50 nm * Linearity : Down to 0.2 % * Push/Pull Force : 15/20 N * Various Adapters Technical Specification 문의는 홈페이지 또는 메일로 문의 주시기 바랍니다.
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