피에조 시스템(Piezo System)은 피에조와 정밀 센서가 결합되어 나노미터 급 분해능과 빠른 응답성을 가집니다. 이를 바탕으로 나노미터 급 정밀도가 요구되는 정밀 측정 시스템, 초고해상도 현미경, 반도체검사 장비, 정밀 가공분야 등에 사용됩니다. * Resolution : 0.5 ~ 15 nm * Linear Travel Range : 100 ~ 1,000 μm * Repeatability : 5 ~ 100 nm * Push/Pull Force : 30 ~ 50 / 10 ~ 20 N * HV / UHV Options Technical Specification 문의는 홈페이지 또는 메일로 문의 주시기 바랍니다.
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