원익IPS는 어떤 기업인가? 원익IPS는 반도체 전공정의 박막 형성과 패터닝 보조 공정에 쓰이는 CVD/ALD 계열 장비를 주력으로 공급하는 장비 기업이며 주요 고객은 삼성전자와 SK하이닉스를 중심으로 국내외 메모리·로직 반도체 업체들입니다. 1990년대 후반 ALD 양산 이력을 보유하고 최근에는 GEMINI·NOA·HyEta 등으로 제품군을 확장하고 있습니다.
원익IPS의 핵심 제품은 무엇인가? 플라즈마 기반 PECVD 계열인 GEMINI 멀티패터닝 대응 ALD 솔루션(GEMINI ALD) 저저항 금속 ALD-W 공정(콘택트/비아용)으로 설계된 NOA 스페이셜 ALD 계열 HyEta가 대표적입니다.
이들 장비는 DRAM 1b/1c, HBM 공정의 하드마스크·라이너·인터커넥트 등에 투입되며 균일도와 생산성(UPEH) 지표를 높이는 설계가 강점입니다. HBM 확산에서 원익IPS는 어디에 포지셔닝되는가?
HBM은 미세 DRAM칩 다층 적층과 TSV 공정으로 구성되며 전·후공정 모두에서 ...
