ALD 에피택시 공정의 확산과 R and D 중심 업무지구의 성장, 중소기업전략기술로드맵

중소기업전략기술로드맵에서 관심 분야의 정보를 공유하고자 합니다. ALD 에피택시 공정의 확산과 R and D 중심 업무지구의 성장 반도체 산업에서 박막은 소자의 성능과 신뢰성을 결정하는 중요한 요소다.

최근 반도체 소자의 구조가 더욱 복잡해지고 3차원화되면서 박막 형성 기술의 중요성은 전례 없이 높아졌다. 특히 박막을 원자 단위로 정밀하게 쌓아 올리는 #ALD공정'과 결정 방향성을 유지한 채 박막을 성장시키는 #에피택시기술'은 초미세 공정 시대의 핵심으로 자리 잡고 있다.

이러한 기술의 확산은 반도체 기업의 연구 방식뿐 아니라 업무공간의 구조, 입지 전략, 공간의 질적 기준을 완전히 바꾸는 중요한 요인으로 작용하고 있다. ALD 공정은 박막 형성 과정에서 원자 단위 두께를 제어할 수 있다는 점에서 다른 증착 기술과 명확히 구별된다.

기판 위에서 화학 반응이 일어나는 순환 과정을 반복함으로써 박막의 균일도를 극대화할 수 있다. 이러한 기술은 공정의 온도 가스 조성 시간 제어 등 모든 ...