오늘은 높은 성장세를 였던 에프에스티(FST)이다. EUV 공정의 부품인 펠리클을 제작하는 것으로 알려진 기업이다.
(반도체 협회 달력에서 본 적이 있다.) 펠리클?
일반 사람들에게 매우 생소한 단어다. Etch, Deposition, EUV 등 각종 반도체 공정 명칭은 많이 들어봤지만 이러한 용어는 익숙하지 않은 사람이 많을 것이다.
펠리클(Pellicle)이 무엇인가? 펠리클은 노광장비(ASML, 캐논, 니콘프리시전의 장비)의 중요 부품 중 하나로, 포토 마스크를 보호하는 얇은 보호부품이라고 할 수 있다.
*포토마스크(대장간의 거푸집 역할)위에 패턴이 세겨져 있는데 이곳에 빛을 투과시키면 Wafer 표면에 마스크의 패턴대로 패턴이 새겨진다고 보면된다. 출처 : FST 기업 홈페이지 보호역할을 하는 펠리클의 얇은 막은, 공정내 오염요소가 포토마스크에 떨어지는 것을 막는 역할을 한다.
펠리클을 사용하면 공정 불량률을 낮추고 포토마스크 (비싼 소모품)의 수명을 늘려주는 역할을 주로한다...
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