[반도체 기초] 세정용액에 대해서 알아보자

얼마 전에 세정공정에 대해서 소개를 해드렸는데요. 사실 일을 하면서 가장 자주 많나는 공정은 세정공정이 아닐까합니다.

모든 LAYER에 있는게 세정공정인데요. 그렇기에 일을 하다 보면 다양한 용어를 듣게됩니다.

SC!, SC2 STRIP 등 많은 얘기가 나오는데요.

처음에는 뭔지 몰라서 당황을 많이 했는데, 사실 별게 아닙니다. 오늘은 저와 같이 고생을 하지 마시라고 반도체 업계 신입분들을 위해서 세정용액에 대해서 알아보는 시간을 갖도록 하겠습니다.

반도체 세정공정이 중요한 이유 전에 한 얘기지만 도입은 있어야겠죠? 세정공정은 단순히 웨이퍼를 깨끗하게 씻는 공정이 아닌데요.

식각, 증착, 포토, CMP 같은 공정을 거친 뒤 표면과 미세 구조 안에 남은 입자, 유기물, 금속 오염, 자연 산화막, 각종 잔여물을 제거해 다음 공정을 안정적으로 이어주는 핵심 단계입니다. 반도체는 나노 단위의 매우 미세한 구조를 다루기 때문에, 눈에 잘 보이지 않는 작은 오염도 수율과 신뢰성에 영향을 줄 수...