[반도체 기초] DIFFUSION 공정이란?

반도체 공정에 대해서 공부를 하다 보면 식각, 증착, 포토 같은 용어는 자주 보이는데, 디퓨전 공정은 사실 많이 언급되지 않는데요. 그렇기에 조금 어렵게 느껴질 수 있습니다.

특히 DRAM처럼 집적도가 매우 높은 메모리에서는 디퓨전 공정이 어떤 역할을 하는지 헷갈리기 쉬운데요. 쉽게 말하면 디퓨전 공정은 실리콘 내부의 전기적 성질을 원하는 방향으로 바꾸는 공정이라고 할 수 있습니다.

그 중심에는 도핑(doping) 이라는 개념이 있는데요. 오늘은 도핑이 무엇인지부터 시작해서, DRAM 디퓨전 공정이 왜 중요한지, 또 디퓨전 공정과 이온주입 공정은 어떻게 다른지까지 쉽게 정리해보겠습니다.

도핑이란 무엇인가? 먼저 디퓨전 공정을 이해하려면 도핑부터 알아야 합니다.

반도체에서 도핑은 실리콘에 아주 소량의 불순물을 넣어 전기적 성질을 바꾸는 작업을 말하는데요. 사실 지금의 반도체를 있게한 매우 중요한 공정이라고 할 수 있습니다.

순수한 실리콘만으로는 Si은 전기적인 특성을 갖지 못하는데요....