[반도체 기초] PHOTO 공정이란?

안녕하세요. 오늘은 PHOTO 공정에 대해서 알아보려고 하는데요.

일반적으로 반도체 공정을 보다 보면 PHOTO 공정이라는 말을 정말 자주 보셨을 겁니다. 보통은 포토리소그래피(photolithography)라고 부르는데, 쉽게 말하면 웨이퍼 위에 회로 패턴을 만들어 주는 공정입니다.

반도체는 식각, 증착, 이온주입 같은 여러 공정을 반복하며 만들어지지만, 그전에 반드시 “어디를 가공할지”를 먼저 정해야 합니다. 바로 그 역할을 PHOTO 공정이 담당하게 됩니다.

실제로 반도체 공정의 레이어를 결정하는 것이 PHOTO 공정의 유무에 따라서 나뉘니깐요. 즉, PHOTO 공정은 단순히 빛을 쏘는 과정이 아니라, 회로 설계도를 실제 웨이퍼 위로 옮겨 놓는 단계라고 이해하시면 됩니다.

PHOTO 공정은 왜 중요할까 그러면 PHOTO 공정은 왜 중요할까요? 반도체는 매우 미세한 구조를 여러 층에 걸쳐 정밀하게 만들어야 하는데요.

여러 층을 한 번에 깎는 기술은 현재로는 불가능합니다. 즉, 각...