[반도체 기초] 스핀코팅이란?

안녕하세요. 오늘 소개해드릴 반도체 기초는 스핀 코팅(Spin Coating)입니다.

사실 반도체 뿐만이 아니라 다양한 분야에서 사용중이지만 반도체에서도 사용중이기 때문에 소개를 드리려고 하는데요. 대표적으로 PHOTO 공정에서 PR을 도포 할 때 사용하고 있습니다.

뭐... 범위를 넓히면 사실 CMP도 스핀 코팅을 사용한다고 할 수 있는데요.

이 외에도 다양한 분야에서 사용되고 있는 기술이기 때문에 알아두면 유용할 것 같습니다. Spin Coating이란?

반도체 공정을 살펴보면 여러 재료를 아주 얇은 층으로 쌓고, 다시 식각하고, 패턴을 만들면서 완성되는데요. 이때 어떤 재료는 증착 장비를 이용해 형성하지만, 어떤 재료는 액체 상태로 기판 위에 올린 뒤 얇게 펴서 막을 만들기도 합니다.

바로 이때 가장 대표적으로 쓰이는 방식이 스핀코팅이라고 할 수 있습니다. 스핀코팅은 말 그대로 기판을 빠르게 회전시켜 액체 재료를 얇고 균일하게 펼치는 공정인데요.

웨이퍼 위에 용액을 떨어뜨린 뒤...