[반도체 기초] 포토레지스트에 대해서, CAR vs MOR

안녕하세요. 오늘 설명드릴 반도체 상식은 포토레지스트(Photoresist)인데요.

특히, CAR(Chemical amplified resist)과 MOR(Metal oxide resist)를 비교하는 시간을 갖도록 하겠습니다. 레지스트?

들어보셨죠? 이전 PHOTO 공정을 설명드리면서 말씀드린 소재입니다.

포토레지스트는 기본적으로 빛을 받아 용해도를 변환시키는 소재라고 할 수 있는데요. 때에 따라서는 빛을 받아서 용매에 안녹게(Negative photoresist), 그리고 때에 따라서는 빛을 받아서 용매에 잘녹게 (Positive photoresist) 변화합니다.

이를 이용해서 빛을 이용한 패턴을 만들 수 있는데요. PHOTO 공정의 핵심이 잘 따라올 수 있으면 좋겠습니다.

CAR이란? 먼저 CAR에 대해서 알아보도록 하겠습니다.

CAR는 Chemically Amplified Resist의 약자입니다. 우리말로 하면 화학증폭형 레지스트라고 할 수 있는데요.

현재 반도체 산업에서...